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動態幹(gān)涉儀有(yǒu)別(bié)於基(jī)於傳統(tǒng) Fizeau 幹(gān)涉(shè)儀的(dí)方法(fǎ),采用位相(xiāng)檢測方(fāng)法直(zhí)接構(gòu)建的(dí)動態幹涉 儀既(jì)不(bù)需要移(yí)動(dòng)待(dài)測(cè)元(yuán)件多次曝光(guāng),也(yě)不(bù)需要采用(yòng)偏振(zhèn)等復雜(zá)的光學(xué)手段(duàn),針 對待(dài)測元件進(jìn)行一(yī)次(cì)測(cè)量即(jí)可獲得(dé)其反射(shè)麵(miàn)型或透過波(bō)差。
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