超快(kuài)，紫外激(jī)光微加工對(duì)加(jiā)工精度(dù)的(dí)要(yào)求已經(jīng)達(dá)到了微(wēi)米尺度(dù)，達到甚至小於(yú)普通(tōng) CCD 相機的(dí)像素尺(chǐ)寸。小尺度光(guāng)斑的精密的(dí)量需要(yào)對光(guāng)斑(bān)進(jìn)行(háng)放大(dà)，而在(zài)放大過程(chéng)中需確(què)保(bǎo)放大倍率(shuài)的(dí)定量(liáng)準(zhǔn)確性，放大(dà)光路的光(guāng)學品質等(děng)。先鋒科技(jì)研發的精密焦(jiāo)點(diǎn)測量儀，集(jí)放大，衰(shuāi)減，光斑(bān)分(fēn)析為(wéi)一(yī)體(tǐ)，放(fàng)大倍(bèi)率經過準確定標，提供便(biàn)利(lì)使用的緊湊型，一體式微(wēi)米尺度(dù)焦(jiāo)斑(bān)分析功能。焦斑分析(xī)儀(yí)充(chōng)分考慮微加(jiā)工激光的參數和(hé)微加工現場的光路結(jié)構，整合激光輸入準(zhǔn)直基(jī)準，激(jī)光(guāng)衰(shuāi)減模塊(kuài)，高(gāo)倍(bèi)率，高保(bǎo)真，高損傷閾值放大(dà)光路(lù)，以(yǐ)及高分辨率(shuài)專業光斑分析儀。用戶(hù)隻(zhī)需將(jiāng)整(zhěng)體設(shè)備放置(zhì)到(dào)場(cháng)鏡 / 聚焦透鏡下(xià)，簡(jiǎn)單(dān)對(duì)準即(jí)可對加工激光的焦(jiāo)點(diǎn)光斑進行完整分(fēn)析 , 而無需搭(dā)建繁(fán)瑣的光路(lù)。係統采用(yòng)緊(jǐn)湊(còu)型整體式(shì)設計，方(fāng)便(biàn)移動(dòng)，可用於多個機台靈活測試(shì)。根(gēn)據(jù)不(bù)同的應用場景，焦(jiāo)斑(bān)分析(xī)儀(yí)分為(wéi)常規(guī) FSA 係列，組(zǔ)合(hé)式 FSA-M 係(xì)列，折疊光路(lù) FSA-F 係(xì)列三個係列(liè)，10x，20x 兩(liǎng)種(zhǒng)放(fàng)大倍率和 UV，VIS，NIR 三(sān)種波段範圍(wéi)產品。其中：

• FSA 係列：標(biāo)準光路，一體(tǐ)式設計，兩級分(fēn)束反(fǎn)射式衰減
；

• FSA-M 係列：模(mó)塊式(shì)，兩級可拆(chāi)卸分束模塊，可拆卸光斑(bān)分(fēn)析儀(yí)
；

• FSA-F 係(xì)列(liè)：折(zhē)疊(dié)光路(lù)，長(cháng)度(dù)較(jiào)短(duǎn)，適應空(kōng)間限(xiàn)製(zhì)場合。

主要特點：

• 免調試固(gù)定光(guāng)路(lù)，入口準直(zhí)基(jī)準，即(jí)插即(jí)用(yòng)
；

• 10x - 20x 放(fàng)大(dà)，適用不(bù)同(tóng)尺(chǐ)度的(dí)焦(jiāo)斑(bān)
；

• 專(zhuān)用高(gāo)功(gōng)率鏡(jìng)頭，確保(bǎo)係統安全
；

• 一維(wéi)，二(èr)維彩色(sè)，三(sān)維直觀顯(xiǎn)示焦斑(bān)形(xíng)貌(mào)，優劣一眼知(zhī)
；

• 放(fàng)大(dà)倍率經過校準，軟件(jiàn)直讀焦斑尺(chǐ)寸(cùn)
；完整的光(guāng)斑參數(shù)計算功能：直徑，中(zhōng)心，重(zhòng)心(xīn)，橢(tuǒ)圓度，高斯擬合等
；

• 功(gōng)率(shuài) / 能量(liáng)密度計算
；

• 焦點位置漂(piāo)移(yí)與(yǔ)穩定性測試(shì)。