193nm激(jī)光器(qì) 準分子加工(gōng)係(xì)統

產品(pǐn)簡(jiǎn)介(jiè)：

193nm激光器準(zhǔn)分子加工係(xì)統產品特點：
全部(bù)實現(xiàn)風冷(lěng)，無(wú)需(xū)水(shuǐ)冷；
結構(gòu)緊(jǐn)湊，脈衝頻率(shuài)高(gāo)，Z高(gāo)重(zhòng)復頻(pín)率到(dào)1kHz；
全新(xīn)技(jì)術金屬(shǔ)-陶瓷腔(qiāng)體；
光束均匀性好
集成的真空(kōng)泵和鹵素(sù)濾(lǜ)光片(piàn)
激(jī)光頭體積(jī)<3L
提供能(néng)量(liáng)穩(wěn)定(dìng)模式(shì)，保(bǎo)證能量穩定輸出(chū)；

產(chǎn)品型號：

更新(xīn)時間：2025-11-07

廠(chǎng)商性質：代理商(shāng)

訪(fǎng)問量：6037

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PRODUCT CLASSIFICATION

激光與量測

二(èr)極管(guǎn)激光(guāng)控製器(qì) 激光光(guāng)斑分析(xī)儀(yí) CODIXX高消(xiāo)光(guāng)比(bǐ)偏振片(piàn) 動態幹涉(shè)儀傳遞(dì)函數(MTF)測試(shì)係(xì)統(tǒng) 高精度(dù)焦(jiāo)點分析(xī)儀量子(zǐ)級聯激光(guāng)器鏡(jìng)頭及光學(xué)元(yuán)件測試(shì)設(shè)備激(jī)光(guāng)波(bō)長計氦氖激(jī)光(guāng)器波前(qián)分(fēn)析(xī)儀超(chāo)快(kuài)激光器(qì) 氣(qì)體激(jī)光(guāng)器連續激光(guāng)器(qì) YAG激(jī)光器準分子(zǐ)激(jī)光(guāng)器(qì) 固體激光器激光(guāng)能量(liáng)計探頭激光M2因(yīn)子分析(xī)儀可調諧激(jī)光(guāng)器(qì) 激(jī)光光(guāng)譜(pǔ)儀

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產(chǎn)品介(jiè)紹(shào)

193nm激(jī)光器準分子加(jiā)工係(xì)統

193nm激光器準分子加(jiā)工(gōng)係(xì)統產品外(wài)觀圖

典型的均(jūn)匀(yún)光斑(bān)形(xíng)貌

微加工係(xì)統

產品特點(diǎn)：

全部(bù)實(shí)現風冷，無需水冷；

結構(gòu)緊湊，脈衝頻(pín)率高(gāo)，zui高重(zhòng)復頻(pín)率(shuài)到(dào)1kHz；

全新(xīn)技術(shù)金(jīn)屬-陶瓷(cí)腔體；

光束均(jūn)匀性好(hǎo)

集成(chéng)的真空泵和(hé)鹵素(sù)濾(lǜ)光(guāng)片

激光頭體(tǐ)積<3L

提供能量(liáng)穩定(dìng)模式，保證(zhèng)能量(liáng)穩定輸出；

應用：

微加工(gōng)

激(jī)光(guāng)融蝕(shí)

醫學(xué)（眼睛手術）

光(guāng)譜

計量(liáng)

光纖布(bù)拉(lā)格光柵刻(kè)寫(xiě)

參數(shù)

ATLEX-300-I 參(cān)數

ATLEX-300-I 參數(shù)
氣體(tǐ)介質	F2	ArF	KrF	XeCl	XeF	單位(wèi)
波(bō)長	157	193	248	308	351	nm
高壓(yā)開(kāi)關技(jì)術	固態開關(guān)
zui大(dà)脈衝(chōng)能(néng)量¹	1	10	15	8	7	mJ
zui大平(píng)均(jūn)功(gōng)率(shuài)	0.2	2.4	4.0	2.0	1.7	W
zui大(dà)重復(fù)頻(pín)率	300					Hz
脈(mài)寬(kuān)²	5-8					ns
光(guāng)斑尺寸(cùn)（V*H）	4*6					mm
光束(shù)發散角(jiǎo)（V*H）	1*2					mrad
能(néng)量穩(wěn)定性(xìng)	<3					%
尺寸(cùn)（LWH）	540470370					mm
重(zhòng)量(liáng)	60					kg
製冷	風(fēng)冷
供(gōng)電要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重(zhòng)復頻率(shuài)下測量，應用(yòng)能(néng)量(liáng)穩(wěn)定模式降會有10%的輸(shū)出(chū)能量損(sǔn)失
典型值，半高(gāo)全(quán)寬（FWHM）

ATLEX-500-I 參數

ATLEX-500-I 參數
氣(qì)體(tǐ)介(jiè)質(zhì)	F2	ArF	KrF	XeCl	XeF	單位
波長(cháng)	157	193	248	308	351	nm
高壓開(kāi)關(guān)技(jì)術	固(gù)態(tài)開關(guān)
zui大脈衝(chōng)能量¹	1	10	15	8	7	mJ
zui大平均(jūn)功(gōng)率	0.5	4.0	6.5	3.0	2.5	W
zui大重復(fù)頻率	500					Hz
脈寬²	5-8					ns
光斑(bān)尺寸(cùn)（V*H）	4*6					mm
光(guāng)束(shù)發(fā)散(sàn)角(jiǎo)（V*H）	1*2					mrad
能量(liáng)穩(wěn)定性	<3					%
尺寸（LWH）	540470370					mm
重量	60					kg
製冷	風冷
供(gōng)電要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重復頻率(shuài)下(xià)測量，應用能(néng)量穩定模式降(jiàng)會(huì)有(yǒu)10%的(dí)輸出能量(liáng)損(sǔn)失
典(diǎn)型值，半(bàn)高全寬（FWHM）

ATLEX-1000-I 參(cān)數

ATLEX-1000-I 參(cān)數(shù)
氣(qì)體介質(zhì)	ArF	KrF	單位
波長(cháng)	193	248	nm
高壓開關(guān)技術	固態開(kāi)關
zui大脈(mài)衝能(néng)量(liáng)¹	10	15	mJ
zui大(dà)平均(jūn)功率(shuài)	4.0	6.5	W
zui大(dà)重復頻率(shuài)	1000		Hz
脈寬²	5-8		ns
光斑尺(chǐ)寸（V*H）	4*6		mm
光束發(fā)散(sàn)角(jiǎo)（V*H）	1*2		mrad
能(néng)量(liáng)穩定(dìng)性(xìng)	<3		%
尺寸（LWH）	540470370		mm
重量(liáng)	60		kg
製冷	風冷
供(gōng)電要(yào)求	230 VAC/10A/1 phase/50-60Hz

在(zài)低重復(fù)頻率(shuài)下測(cè)量，應(yīng)用能量穩(wěn)定模式降會有10%的輸出(chū)能(néng)量(liáng)損(sǔn)失
典(diǎn)型值，半高(gāo)全寬（FWHM）

ATLEX-300-FBG 參數(shù)

ATLEX-300-FBG 參(cān)數(shù)
氣體介(jiè)質(zhì)	ArF	KrF	單(dān)位
波長	193	248	nm
高壓開關技術	固態開(kāi)關
zui大脈(mài)衝能量(liáng)¹	10	15	mJ
zui大(dà)平均功率	2.4	4.0	W
空(kōng)間(jiān)相關(guān)性(垂直方(fāng)向)	>300	>300	um
zui大重(zhòng)復頻率	300		Hz
脈(mài)寬²	5-8		ns
光(guāng)斑尺(chǐ)寸(cùn)（V*H）	4*6		mm
光(guāng)束發(fā)散角（V*H）	1*2		mrad
能量穩定(dìng)性(xìng)	<3		%
尺寸(cùn)（LWH）	540470370		mm
重量	60		kg
製冷(lěng)	風冷
供(gōng)電(diàn)要求(qiú)	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在(zài)低重復頻(pín)率下測量，應用(yòng)能(néng)量(liáng)穩定(dìng)模式降會(huì)有(yǒu)10%的輸(shū)出能(néng)量損失
典型值，半高(gāo)全(quán)寬（FWHM）

ATLEX-500-FBG 參數

ATLEX-500-FBG 參(cān)數
氣(qì)體介質(zhì)	ArF	KrF	單位(wèi)
波長(cháng)	193	248	nm
高(gāo)壓開關技術	固態(tài)開(kāi)關(guān)
zui大(dà)脈衝能量(liáng)¹	10	15	mJ
zui大(dà)平均功率	4.0	6.5	W
空間相(xiāng)關性(xìng)(垂直方向(xiàng))	>300	>300	um
zui大重(zhòng)復(fù)頻(pín)率(shuài)	500		Hz
脈寬²	5-8		ns
光(guāng)斑(bān)尺寸（V*H）	4*6		mm
光束發(fā)散(sàn)角(jiǎo)（V*H）	1*2		mrad
能(néng)量穩(wěn)定(dìng)性(xìng)	<3		%
尺(chǐ)寸(cùn)（LWH）	540470370		mm
重(zhòng)量(liáng)	60		kg
製冷(lěng)	風冷(lěng)
供(gōng)電(diàn)要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重復頻率下(xià)測量，應用能量(liáng)穩(wěn)定(dìng)模式(shì)降(jiàng)會(huì)有(yǒu)10%的輸出(chū)能量損失
典型值(zhí)，半(bàn)高(gāo)全寬(kuān)（FWHM）

ATLEX-LR 參數(shù)

ATLEX-LR 參數(shù)
氣體介(jiè)質	ArF	單(dān)位
波(bō)長(cháng)	193	nm
zui大脈(mài)衝能(néng)量¹	12	mJ
zui大穩(wěn)定輸(shū)出能量	10	mJ
脈寬²	5	Ns
光斑尺(chǐ)寸（V*H）	4*6	mm
光束(shù)發散角（V*H）	1*2	mrad
能量穩(wěn)定(dìng)性	<2	%
尺寸（LWH）	540470370	mm
重量(liáng)	60	kg
製冷(lěng)	風冷
供(gōng)電要求(qiú)	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz