對(duì)於厚膜折射(shè)率的測量(liáng)，單(dān)色光被(bèi)直(zhí)接(jiē)照(zhào)射到(dào)被(bèi)測樣(yàng)品(pǐn)上(shàng)，這樣(yàng)，從(cóng)薄膜(mó)表麵(miàn)反(fǎn)射(shè)回來的光的幹涉小(xiǎo)值就(jiù)會(huì)發生(shēng)變(biàn)化(huà)，光(guāng)的(dí)入(rù)射(shè)角也(yě)會發(fā)生變化(huà)。在這種技(jì)術(shù)中(zhōng)，薄膜厚度是由兩個幹(gān)涉小(xiǎo)值的角的(dí)位置計(jì)算出(chū)來的。對(duì)於這(zhè)種(zhǒng)測(cè)量(liáng)條(tiáo)件——薄(báo)膜(mó)具有兩個(gè)或(huò)兩個以上(shàng)的(dí)幹擾小值(zhí)——薄(báo)膜(mó)厚度(dù)必須(xū)大於(yú)低脫粒(lì)率，通(tōng)常為2微(wēi)米。樣品夾持機采(cǎi)用真(zhēn)空(kōng)從背麵(miàn)支撐(chēng)樣(yàng)品(pǐn)，安(ān)裝方(fāng)便簡單(dān)。可測量(liáng)薄(báo)膜/基(jī)底的類(lèi)型，矽襯底(dǐ)上(shàng)幾乎任何透(tòu)明(míng)或(huò)半(bàn)透明(míng)材(cái)料的(dí)氧化物
，氮(dàn)化(huà)物(wù)
，介(jiè)質
，聚(jù)合(hé)物(wù)或(huò)薄膜。可測量的薄(báo)膜/襯底類型(xíng)：氧化(huà)物(wù)
，氮化物
，介(jiè)電(diàn)材料(liào)
，聚(jù)合物
，或矽襯(chèn)底上(shàng)幾乎(hū)任(rèn)何透明或(huò)半(bàn)透明材(cái)料(liào)的(dí)薄膜(mó)。

　　

　　一
，棱鏡(jìng)耦合測試儀的特性：

　　1
，薄膜及(jí)波導折射率/厚度測(cè)量，包(bāo)括(kuò)梯(tī)度(dù)折(zhē)射(shè)率的測量(liáng)；

　　2
，體材料(liào)折(zhē)射率的測量；

　　3
，薄(báo)膜(mó)及體材料(liào)的雙折(zhē)射測(cè)量；

　　4
，移(yí)動光(guāng)纖測試波導損(sǔn)耗；

　　5
，雙(shuāng)層(céng)薄(báo)膜測量(liáng)（甚至(zhì)在波長1310nm或1550nm處有幾(jī)個(gè)~㎛厚(hòu)度）；

　　6
，不相(xiāng)關的薄(báo)膜/基板(bǎn)組(zǔ)合；

　　7
，無需預(yù)先(xiān)知識(shí)，操作簡單；

　　8
，批(pī)量(liáng)或(huò)基(jī)板(bǎn)材(cái)料(liào)的(dí)準確測(cè)量；

　　

　　二
，主(zhǔ)要應(yīng)用(yòng)領域：

　　1
，光(guāng)波導器(qì)件(jiàn)；

　　2
，激光晶體材料(liào)；

　　3
，聚合(hé)物(wù)材料；

　　4
，顯示技術材料(liào)；

　　5
，光/磁(cí)存(cún)儲材料(liào)；

　　6
，光(guāng)學(xué)薄膜。