位(wèi)置靈敏探測(cè)器PSD （Position Sensitive Device） 屬於(yú)半導體(tǐ)器件, 一般做成(chéng)PN結構,具(jù)有(yǒu)高靈(líng)敏度(dù)，高分辨(biàn)率，響應(yīng)速度(dù)快和配置(zhì)電路簡(jiǎn)單等(děng)優(yōu)點。其工(gōng)作(zuò)原理是基於橫(héng)向光電(diàn)效(xiào)應(yīng)。位(wèi)置靈(líng)敏探(tàn)測(cè)器(qì)作為(wéi)新型(xíng)器(qì)件, PSD 已經(jīng)被(bèi)廣泛應用(yòng)在位置(zhì)坐(zuò)標的測量(liáng)上(shàng), 如(rú): 兵器製導和(hé)跟(gēn)蹤(zōng)，工業自動(dòng)控(kòng)製(zhì)，或位置(zhì)變化等(děng)技術(shù)領域上(shàng).

分節PSD                                                                             

這類(lèi)PSD的(dí)基底通常(cháng)分(fēn)成兩(liǎng)節或四(sì)節(jié)（分別對應一(yī)維(wéi)或二維測(cè)量(liáng)）。如(rú)果光(guāng)斑停(tíng)在中心(xīn)位(wèi)置，對稱的(dí)光斑(bān)會在所有(yǒu)的(dí)節上產生相等的光電流(liú)。通(tōng)過簡(jiǎn)單(dān)測量各(gè)節的(dí)輸出電流，可以(yǐ)得到相(xiāng)對(duì)的位(wèi)置信(xìn)息。由於各(gè)單元(yuán)之間(jiān)*的響(xiǎng)應匹配，它們(mén)提供(gōng)的(dí)位(wèi)置分辨率(shuài)優於(yú)0.1um，度也(yě)比(bǐ)橫(héng)向效應(yīng)的PSD高。與橫向(xiàng)效應PSD不同(tóng)的是，分(fēn)節PSD的(dí)位置分辨(biàn)率(shuài)與係統(tǒng)的(dí)信(xìn)噪比無(wú)關(guān)，因此它(tā)可以探測非常微(wēi)弱的光(guāng)信號。它們(mén)展(zhǎn)示了基於時間和溫(wēn)度(dù)條件下的*穩定(dìng)性，以及脈衝應用(yòng)所(suǒ)需的(dí)快速(sù)時間效率。然而，它(tā)們也受一(yī)些(xiē)因素的限(xiàn)製，比(bǐ)如光(guāng)斑必須在(zài)任何(hé)時(shí)間(jiān)疊(dié)加(jiā)在所有的節上(shàng)，它不(bù)能(néng)小(xiǎo)於各節之間(jiān)的條帶(dài)寬度。同時，正確的(dí)測(cè)量，均(jūn)匀的光斑(bān)密(mì)度(dù)分配也(yě)是(shì)很(hěn)重(zhòng)要的(dí)。它們(mén)是(shì)調零應用和光(guāng)束準直應(yīng)用的(dí)器件(jiàn)。分節PSD產品包括二像素係列，四像素係列(liè)，紫(zǐ)外(wài)增強型係(xì)列

橫向效(xiào)應PSD                                                                      

橫向(xiàng)效應PSD采(cǎi)用連(lián)續的平麵擴散型(xíng)光(guāng)電(diàn)二(èr)管，沒(méi)有(yǒu)條(tiáo)帶或(huò)盲區。這(zhè)類PSD直(zhí)接讀出(chū)整(zhěng)個(gè)有效區域(yù)下(xià)的光(guāng)斑位移(yí)量。在(zài)探測器(qì)有效區域(yù)上，光(guāng)斑的(dí)位置(zhì)和密(mì)度信息與模擬輸出量(liáng)直(zhí)接(jiē)成正比，通(tōng)過這(zhè)一輸出就可以(yǐ)獲(huò)得位(wèi)移(yí)量(liáng)。照(zhào)在有(yǒu)效區(qū)域(yù)上的光斑(bān)會(huì)產生光電(diàn)流，光(guāng)電流流過(guò)入射(shè)點(diǎn)，穿過(guò)電阻層(céng)，進入接觸層(céng)。入射點(diǎn)與(yǔ)接觸層之(zhī)間(jiān)的(dí)電阻(zǔ)與光電(diàn)流成反(fǎn)比(bǐ)。當光(guāng)斑(bān)正好(hǎo)照到(dào)器件中央位置，會產生相同的(dí)電(diàn)流(liú)信號。當在(zài)有(yǒu)效區(qū)域(yù)上移(yí)動光(guāng)斑(bān)，接觸層(céng)產生的電(diàn)流大(dà)小，會確定光斑正確的瞬態位置。這些電信號(hào)與(yǔ)從(cóng)中心(xīn)到(dào)光斑(bān)的位(wèi)置成比例(lì)關(guān)係(xì)。

橫向(xiàng)效(xiào)應(yīng)光電二管的主(zhǔ)要優勢在(zài)於它們(mén)寬(kuān)的(dí)動(dòng)態(tài)範圍(wéi)。它(tā)們能(néng)測量到探測器(qì)邊緣的所(suǒ)有(yǒu)光斑位(wèi)置(zhì)。它們與(yǔ)光斑(bān)形狀，密度分布無(wú)關(guān)，而這(zhè)一(yī)點(diǎn)會影(yǐng)響(xiǎng)分節光電(diàn)二管的(dí)位(wèi)置(zhì)讀取(qǔ)。輸入的光束可(kě)以(yǐ)是(shì)任何的尺寸和形(xíng)狀，這是(shì)因為電氣輸(shū)出(chū)信號(hào)由(yóu)光(guāng)斑位置重心指(zhǐ)示，而(ér)輸出與(yǔ)到中(zhōng)心(xīn)的位移(yí)量(liáng)成(chéng)正比。器件的位置(zhì)分(fēn)辨率(shuài)優於0.5um。分(fēn)辨率取決(jué)於探測(cè)器(qì)/電路(lù)信號與(yǔ)噪聲(shēng)的(dí)比值。

兩(liǎng)種橫向(xiàng)效應(yīng)PSD：二元橫(héng)向結(jié)構和(hé)四(sì)元橫向(xiàng)結(jié)構。所(suǒ)有的結(jié)構都(dū)可(kě)以以一(yī)維(wéi)和二維(wéi)形(xíng)式排(pái)列。

二(èr)元橫(héng)向(xiàng)PSD：它有兩個(gè)電(diàn)阻層(céng)，一個在(zài)光(guāng)電二管(guǎn)頂部，另一個(gè)在(zài)底(dǐ)部。在每一層(céng)，光電流都被分成兩部(bù)分。這種(zhǒng)結(jié)構(gòu)能(néng)分(fēn)辨小於(yú)0.5um的光(guāng)斑移動(dòng)，並且(qiě)有非常小(xiǎo)的位(wèi)置探(tàn)測誤差(chà)，幾乎可以(yǐ)到(dào)有效(xiào)區域(yù)的邊(biān)界(jiè)。它們也(yě)展(zhǎn)示了(liǎo)在(zài)整(zhěng)個(gè)有(yǒu)效區(qū)域(yù)上(shàng)良好的位置綫(xiàn)性度(dù)。

四(sì)元橫向(xiàng)PSD：隻有一(yī)個(gè)電(diàn)阻(zǔ)層(céng)，針(zhēn)對一維(wéi)或(huò)二維(wéi)感應時(shí)，光電流(liú)被(bèi)分別(bié)分(fēn)成(chéng)兩(liǎng)部分(fēn)或四部分。與二(èr)元橫(héng)向型相(xiāng)比(bǐ)，這些(xiē)器件(jiàn)在離中心(xīn)較遠(yuǎn)處的位移非綫性較大(dà)，即較(jiào)大(dà)的(dí)位置(zhì)探(tàn)測誤(wù)差

一維(wéi)PSD探測器                                                                  

一(yī)維PSD探測出一個(gè)亮點移(yí)動(dòng)在(zài)它的在一個*方向(xiàng)的表麵。入射(shè)光(guāng)引(yǐn)起(qǐ)的光電流流經設備，作(zuò)為輸(shū)入偏(piān)壓電(diàn)流被(bèi)劃分(fēn)成二個輸(shū)出(chū)電流(liú)。輸(shū)出電流(liú)的分布(bù)顯(xiǎn)示(shì)出(chū)探測器(qì)的光(guāng)斑的(dí)位(wèi)置(zhì)。

一維探測器(qì)從2.5*0.6mm2'> ---60.0*3.0mm2'> 可選，上(shàng)升(shēng)時間為0.3us---4.5us。

二(èr)維(wéi)PSD探測器                                                                   

二(èr)維PSD探(tàn)測器(qì)在(zài)其(qí)的(dí)方(fāng)形的(dí)表麵(miàn)上的一(yī)個入射(shè)光(guāng)斑(bān)點位置。入射光引(yǐn)起的光電流流經設備，作(zuò)為二(èr)個輸入電流和(hé)二(èr)個輸出電流(liú)。輸(shū)出電流的分(fēn)布顯(xiǎn)示一(yī)個維度（y）的光斑(bān)的(dí)位(wèi)置和(hé)輸(shū)入(rù)電(diàn)流的分布(bù)顯(xiǎn)示另(lìng)一個(gè)維度(dù)（y）的(dí)光斑(bān)的位(wèi)置(zhì)。

二維(wéi)探測器從2.0*2.0mm2'> ---45.0*45.0mm2'> 可選(xuǎn)，上升(shēng)時間(jiān)為0.3us---7us。

另外，還提(tí)供(gōng)帶(dài)信號處理(lǐ)電路(lù)的高綫性(xìng)二維PSD探(tàn)測器，麵(miàn)積可達10*10mm2'> 。

產品係(xì)列(liè)                                                                                         

四象限(xiàn)位(wèi)置傳感(gǎn)器                                    二維位置(zhì)傳(chuán)感(gǎn)器(qì)       

靈(líng)敏(mǐn)度高，暗噪(zào)聲低，                             靈敏度(dù)高，暗噪聲低(dī)，

用(yòng)於高精度(dù)中(zhōng)心位(wèi)置(zhì)                               位置分辨率好(hǎo)，適用於

測量(liáng)                                                    高(gāo)精度(dù)二維位置測(cè)量

應(yīng)用(yòng)領域                                               應(yīng)用領域             

激(jī)光(guāng)準直(zhí)                                             位移，水平度測量

中(zhōng)心(xīn)位置(zhì)校準                                       三(sān)維形貌測量