殘(cán)餘(yú)氣(qì)體分(fēn)析儀

發布(bù)日期(qī)：2010/7/29

 美國斯(sī)坦(tǎn)福公(gōng)司(sī)的殘(cán)餘氣(qì)體分析(xī)儀(yí)（RGA）劃分為(wéi)100，200，300amu三種(zhǒng)型號，其優異的性能和價值是真空(kōng)分析(xī)儀(yí)的產(chǎn)品(pǐn)。並(bìng)且(qiě)SRS提供(gōng)的(dí)的(dí)價(jià)格(gé)不(bù)到(dào)同類產(chǎn)品(pǐn)的一半(bàn)，每一個RGA係(xì)統都由一個四(sì)級杆(gān)探(tàn)針和(hé)電(diàn)子控製單元組成。實時(shí)分析的windows軟件(jiàn)包(bāo)可以(yǐ)更方(fāng)便的用於(yú)數(shù)據(jù)采集(jí)和分析，並可進行遠程控製。

 
是在真(zhēn)空(kōng)腔內利用(yòng)RGA離子分(fēn)化器(qì)將氣(qì)體分(fēn)子電(diàn)離(lí)，電離(lí)後(hòu)的(dí)帶(dài)電(diàn)粒(lì)子(zǐ)進(jìn)入四杆(gān)產(chǎn)生(shēng)的偏(piān)轉電(diàn)場(cháng)內，由於(yú)不(bù)同(tóng)的粒子(zǐ)質量數不(bù)一樣(yàng)，在(zài)一(yī)定(dìng)的(dí)電場(cháng)作用(yòng)下所形成(chéng)的偏(piān)轉(zhuǎn)半徑(jìng)就(jiù)不一樣。相當於(yú)我們(mén)在四(sì)杆(gān)上(shàng)加(jiā)特定的電場就(jiù)會(huì)有特(tè)定(dìng)質量數的離(lí)子打到(dào)探測(cè)器陽(yáng)上(shàng)，探(tàn)測(cè)器(qì)所產生(shēng)的電流(liú)正(zhèng)比於(yú)氣體分(fēn)子的(dí)濃(nóng)度。進(jìn)一(yī)步改(gǎi)變電場(cháng)，就可以(yǐ)檢(jiǎn)測到不同(tóng)質(zhì)量數離子(zǐ)的濃(nóng)度(dù)。之(zhī)後我們再做(zuò)電場(cháng)掃(sǎo)描(miáo)，就可以計算出(chū)真空(kōng)腔中所(suǒ)含氣(qì)體的成(chéng)分(fēn)。

具(jù)體性能(néng)參數如下(xià)：
型號
質譜範圍(wéi)                        RGA100     1 to 100 amu
                                        RGA200     1 to 200 amu
                                        RGA300     1 to 300 amu
質(zhì)樸(pǔ)濾波器(qì)類型           Quadrupole
探測(cè)器類型                   Faraday cup （FC）, standard Electron multiplier （EM）, optional
分辨(biàn)率                           Better than 0.5 amu @ 10 % peak height. Adjustable to constant peak  width 
                                       throughout the mass range.
靈敏(mǐn)度（A/Torr）              2 × 10^?4 （FC）, <200 （EM）.
探測限                       5 × 10?11 Torr （FC）,
                                       5 × 10?14 Torr （EM）
測試範(fàn)圍(wéi)                      10?4 Torr to UHV （FC）
                                      10?6 Torr to UHV （EM）
操作(zuò)溫(wēn)度(dù)                      70 °C （max.）
烘(hōng)烤溫(wēn)度                      300 °C （without ECU）

離子發生器
結(jié)構                              Open ion source, cylindrical symmetry, electron impact ionization
材料                              SS304 construction
燈(dēng)絲(sī)                              Thoriated iridium （dual） with firmware protection. Built-in 1 to 10 W degas ramp-up.
                                      Field replaceable.
電(diàn)子能量                      25 to 105 V, programmable
離(lí)子(zǐ)能(néng)量(liáng)                      8 or 12 V, programmable
焦(jiāo)點電(diàn)壓                      0 to 150 V, programmable
電子輸(shū)出(chū)電流(liú)              0 to 3.5 mA, programmable

規格
探(tàn)針(zhēn)尺寸                     8.75" from flange face to top of ionizer
探(tàn)針孔(kǒng)徑                     2.0"
探針安(ān)裝法蘭             2.75" CF
Minimum tube I.D.    1.375"
ECU尺寸                    3.1" × 4.1" × 9.1" （WHD）. Easily separated from the probe for bakeout. 
LED指(zhǐ)示(shì)燈(dēng)                 Power ON/OFF, filament ON/OFF,degas ON/OFF, electron multiplierON/OFF, RS-  
                                     232 Busy, Error,Overpressure, Burnt Filament
預熱時(shí)間                    Mass stability ±0.1 amu after 30 minutes
電腦接口                    RS-232C, 28,800 baud with highlevel command set
軟件                            Windows based application
電源要求(qiú)                   24 VDC @ 2.5 amps, male DB9 connector, optional built-in power module for AC  
                                    line operation