德國(guó)Xiton公司(sī)在(zài)Ixion-193-SLM標準(zhǔn)款的基礎(chǔ)上(shàng)，推(tuī)出兩款新型(xíng)Ixion-193-SLM深紫(zǐ)外窄綫寬(kuān)全(quán)固態(tài)激(jī)光器。其(qí)中更(gēng)高(gāo)功(gōng)率款(kuǎn)的(dí)平(píng)均功率由10mW提(tí)升至(zhì)50mW,更窄(zhǎi)綫寬(kuān)款的激光綫寬由(yóu)標準(zhǔn)款(kuǎn)的綫(xiàn)寬(kuān)<80MHz（10fm),相幹長度>2m; 提升至(zhì)綫寬(kuān)<60MHz（10fm),相幹長度>2.5m;

Ixion-193-SLM激(jī)光(guāng)器共(gòng)同的特(tè)點(diǎn)
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- 使(shǐ)用(yòng)超級簡(jiǎn)便
：用戶(hù)隻(zhī)需在圖形化(huà)的軟(ruǎn)件界麵(miàn)上即(jí)可完(wán)成(chéng)操作

- 可適應7天(tiān)24小(xiǎo)時工(gōng)業(yè)化應用(yòng)

- 窄綫(xiàn)寬，長相(xiāng)幹(gān)長(cháng)度(dù)

- 標準(zhǔn)輸出(chū)193.368nm，下單前可提前定製190-195nm範圍(wéi)間任意波長(cháng)值。

- 波(bō)長在(zài)10pm(80GHz)範圍內可(kě)調諧

- 可增配內置(zhì)波長(cháng)計監測(cè)波(bō)長(cháng)調(tiáo)諧的(dí)絕對值

產(chǎn)品(pǐn)規格

應(yīng)用舉例(lì)
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光譜儀校準
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Ixion-193-SLM標(biāo)準款(kuǎn)就已經很適合做193nm深紫(zǐ)外頻段(duàn)高分辨率(shuài)光(guāng)譜(pǔ)儀校(xiào)準，下圖為(wéi)校準德國(guó)LTB高分(fēn)辨(biàn)率中階梯光柵(zhà)光(guāng)譜儀的(dí)實(shí)測圖

深紫(zǐ)外光刻(kè)
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Ixion-193-SLM-50的(dí)輸(shū)出(chū)功(gōng)率可達50mW, 可(kě)用於(yú)科研級別小尺度深紫(zǐ)外光刻;其光譜(pǔ)綫寬(kuān)<100MHz, 可(kě)有(yǒu)效(xiào)降低深紫外(wài)光刻係(xì)統的(dí)色差導致的位(wèi)置偏差，特別(bié)適合於浸(jìn)沒型高(gāo)分辨(biàn)率光刻(kè)，以及多次曝(pù)光套刻(kè)。

準分(fēn)子(zǐ)激光(guāng)器(qì)的種子注入
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用於(yú)產業(yè)級(jí)別高精(jīng)細(xì)度(dù)半(bàn)導體光刻(kè)製程時(shí)， Ixion-193-SLM可用於(yú)大功率(shuài)準分子(zǐ)激(jī)光器的(dí)種(zhǒng)子注(zhù)入(rù)源，將自(zì)身的超窄綫寬(kuān)和超高功(gōng)率(shuài)穩定性傳遞(dì)給大功率準(zhǔn)分(fēn)子激光器(qì)，提升(shēng)半導體(tǐ)光(guāng)刻製程分辨率(shuài)與良(liáng)品率。

深紫外幹涉與(yǔ)計(jì)量(liáng)
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Ixion-193-SLM以(yǐ)其(qí)1.5-2.5m的長相幹長度，很適(shì)合搭(dā)建193nm幹涉係統(tǒng)和(hé)全息係統(tǒng)；193nm深(shēn)紫(zǐ)外(wài)激光架構比266nm激(jī)光(guāng)架構(gòu)用於(yú)無(wú)圖型半(bàn)導體晶(jīng)圓(yuán)缺(quē)陷(xiàn)檢(jiǎn)測儀(yí)能做到更細(xì)微的缺(quē)陷監測(cè)極(jí)限；用於膜厚檢測也(yě)可(kě)做(zuò)到(dào)更精細(xì)的(dí)膜(mó)厚(hòu)檢(jiǎn)測(cè)極限；可用(yòng)於掩(yǎn)膜(mó)對(duì)準步進光(guāng)學(xué)係(xì)統的(dí)校準(zhǔn)。總之，Ixion-193-SLM可做(zuò)為(wéi)超精(jīng)細(xì)半導(dǎo)體製(zhì)程光(guāng)刻係統或器件的研究與優化(huà)應(yīng)用的光源。