對(duì)於厚膜折射率(shuài)的(dí)測量，單色光被直(zhí)接(jiē)照射(shè)到(dào)被測樣品上(shàng)，這(zhè)樣，從薄膜表麵(miàn)反(fǎn)射回(huí)來(lái)的光的幹涉小(xiǎo)值就(jiù)會(huì)發生(shēng)變化，光的(dí)入射角(jiǎo)也會發生變(biàn)化。在這(zhè)種技(jì)術中(zhōng)，薄膜厚(hòu)度(dù)是由(yóu)兩(liǎng)個(gè)幹涉小(xiǎo)值的角(jiǎo)的位(wèi)置(zhì)計算出(chū)來的。對於這種(zhǒng)測量(liáng)條(tiáo)件(jiàn)——薄膜(mó)具(jù)有兩個(gè)或(huò)兩個以上的(dí)幹擾(rǎo)小(xiǎo)值(zhí)——薄(báo)膜(mó)厚(hòu)度必(bì)須(xū)大(dà)於(yú)低(dī)脫(tuō)粒率(shuài)，通常(cháng)為(wéi)2微(wēi)米。樣(yàng)品夾持(chí)機(jī)采用(yòng)真(zhēn)空從(cóng)背麵支撐(chēng)樣(yàng)品，安(ān)裝(zhuāng)方(fāng)便(biàn)簡單(dān)。可(kě)測量薄膜/基(jī)底的(dí)類型，矽襯底(dǐ)上(shàng)幾(jī)乎任(rèn)何(hé)透明或半(bàn)透明材料的氧化物(wù)
，氮化物
，介(jiè)質(zhì)
，聚合物或薄膜。可(kě)測量的(dí)薄(báo)膜/襯底類型：氧化物(wù)
，氮(dàn)化(huà)物
，介(jiè)電(diàn)材(cái)料
，聚合(hé)物
，或(huò)矽襯(chèn)底上幾乎(hū)任何透(tòu)明(míng)或(huò)半(bàn)透(tòu)明(míng)材(cái)料(liào)的(dí)薄膜。

　　

　　主要(yào)測試功能：

　　1
，薄膜及波導折射(shè)率/厚度/光(guāng)損測(cè)量；

　　2
，體材料(liào)折射率的測(cè)量(liáng)；

　　3
，薄膜(mó)及(jí)體材料的雙折射測(cè)量；

　　4
，液體折(zhē)射率(shuài)的(dí)測量(liáng)；

　　5
，折射(shè)率(shuài)隨溫(wēn)度變(biàn)化的(dí)測量分(fēn)析(xī)；

　　6
，折(zhē)射(shè)率(shuài)隨(suí)深度變化的(dí)測量分析；

　　

　　主(zhǔ)要(yào)應(yīng)用領域：

　　1
，光(guāng)波(bō)導(dǎo)器件芯(xīn)片的製(zhì)備(bèi)；

　　2
，激光(guāng)晶體的(dí)製(zhì)備；

　　3
，聚合(hé)物(wù)材(cái)料的屬(shǔ)性(xìng)研(yán)究(jiū)；

　　4
，顯示(shì)技(jì)術材(cái)料的(dí)測量(liáng)；

　　5
，光/磁(cí)存儲材料的(dí)測量；

　　6
，光學薄膜(mó)的(dí)製備(bèi)。