準分子激(jī)光(guāng)器激光用(yòng)於半(bàn)導體(tǐ)處理(lǐ)，特別是(shì)半導體表(biǎo)麵(miàn)退火，是一種(zhǒng)有希望(wàng)的應(yīng)用(yòng)，潛在的市場是(shì)很大(dà)的(dí)。激光(guāng)處理(lǐ)比(bǐ)常規(guī)熱處(chǔ)理的優(yōu)點是能夠紡(fǎng)織(zhī)退火(huǒ)期間參雜劑的(dí)再(zài)分(fēn)布(bù)，同事(shì)保(bǎo)持(chí)適當的再結(jié)晶和參(cān)雜劑(jì)活(huó)化。準分子(zǐ)激光(guāng)能對樣品均匀(yún)照(zhào)射(shè)，而(ér)且準分子激光的(dí)光譜相(xiāng)當的寬(kuān)，因而(ér)相幹(gān)長度(dù)相(xiāng)當(dāng)短，使得樣(yàng)品中的(dí)幹(gān)涉效(xiào)應減到zui小，而在以(yǐ)往的激(jī)光退火中，這時(shí)難以解(jiě)決(jué)的問題。準(zhǔn)分子激(jī)光(guāng)的(dí)紫(zǐ)外波(bō)長很適(shì)於退(tuì)火(huǒ)樣品(pǐn)的薄層(céng)穿(chuān)透，準分子激光還(huán)可以聚焦(jiāo)成微米(mǐ)級(jí)尺寸(cùn)進(jìn)行(háng)材料處理(lǐ)。

 

　　利用(yòng)準分(fēn)子(zǐ)激光的良好(hǎo)聚(jù)焦作用，通過激光引發(fā)光(guāng)化反應，使(shǐ)表(biǎo)麵出現微(wēi)米量級(jí)的(dí)沉(chén)澱(diàn)或(huò)蝕刻。例如，用(yòng)波長為193毫(háo)微米(mǐ)的(dí)氟化氬準分(fēn)子(zǐ)激(jī)光(guāng)在樣(yàng)品(pǐn)表麵光(guāng)解(jiě)三氯化硼，已(yǐ)經(jīng)實(shí)現了(liǎo)單(dān)晶矽和多晶矽的摻雜。此(cǐ)外，用脈寬為(wéi)7豪(háo)微秒的(dí)準(zhǔn)分子(zǐ)激(jī)光(guāng)瞬(shùn)間熔(róng)化表麵(miàn)，可使(shǐ)摻(chān)雜(zá)劑(jì)擴(kuò)散到(dào)幾千埃(āi)的深度並使摻(chān)雜劑*活(huó)化(huà)。采用(yòng)這(zhè)種技術製造(zào)的(dí)太(tài)陽(yáng)能電(diàn)池，轉換效(xiào)率(shuài)約(yuē)為(wéi)13-14%。

 

　　準分子(zǐ)激光(guāng)器在醫學領(lǐng)域(yù)使用：

 

　　在醫學領域中使用的激光器種類(lèi)非常多(duō),常用於(yú)眼(yǎn)科治療的主(zhǔ)要有(yǒu)紅寶石激光，氬離子(zǐ)激(jī)光(guāng)，氪(kè)離(lí)子，染(rǎn)料(liào)激光(guāng)，摻(chān)釹(nǚ)釔(yǐ)鋁(lǚ)石榴(liú)石激光和氟化(huà)氬(yà)準分(fēn)子激(jī)光(guāng)等固(gù)體，氣體和液體的(dí)激光器，用連(lián)續(xù)的，脈(mài)衝的和(hé)調Q的方式(shì)，治療(liáo)眼底部色素膜(mó)和屈(qū)光(guāng)間(jiān)質等部(bù)位的(dí)數十(shí)種有關(guān)眼(yǎn)部疾病。

 

　　眼(yǎn)科使用的準(zhǔn)分子激光, 是以氬氣(qì)和氟氣(qì)為工作氣體(tǐ)產(chǎn)生(shēng)的激(jī)光。所(suǒ)謂準(zhǔn)分子激(jī)光，是(shì)指受(shòu)激二聚(jù)體(tǐ)所產生的激光，波長範圍(wéi)為(wéi)157～353nm，所屬紫(zǐ)外激(jī)光波段(duàn)。用於臨(lín)床的氟化(huà)氬(yà)混(hùn)合(hé)物產生的波長為(wéi)193nm的(dí)超(chāo)紫(zǐ)外冷激光。

 

　　波長為(wéi)193nm的ArF準(zhǔn)分(fēn)子激光(guāng)，進(jìn)行屈(qū)光(guāng)手術的機(jī)理就(jiù)是光化(huà)學(xué)效應。準分子(zǐ)激光(guāng)單(dān)個光子的(dí)能量大(dà)約是(shì)6.4eV，而(ér)角(jiǎo)膜組織中肽鍵與碳分(fēn)子(zǐ)鍵(jiàn)的結合能量僅(jǐn)為3.6eV。當其高(gāo)能量(liáng)的光(guāng)子照(zhào)射到角(jiǎo)膜(mó)，直(zhí)接將組(zǔ)織內(nèi)的分子鍵(jiàn)打(dǎ)斷(duàn)，導(dǎo)致角(jiǎo)膜組織碎裂而達到(dào)消(xiāo)融切(qiē)割組織的(dí)目(mù)的，並(bìng)且(qiě)由於準(zhǔn)分子激光脈(mài)寬(kuān)短，又(yòu)是光化學(xué)效(xiào)應切除。因此，對(duì)切除(chú)周圍組(zǔ)織的機械(xiè)損(sǔn)傷(shāng)和熱損(sǔn)傷(shāng)小。

 

　　用(yòng)這(zhè)種刀施(shī)行(háng)光(guāng)切(qiē)術(shù),其切割(gē)精(jīng)度(dù)可達到(dào)μm級,其(qí)刀(dāo)口損(sǔn)傷(shāng)範圍(wéi)僅達(dá)nm級,而且(qiě)由於無熱效應而(ér)不會損傷(shāng)鄰(lín)近組織。所以現(xiàn)已(yǐ)運用於角膜手(shǒu)術，如角膜屈(qū)光手(shǒu)術(shù)，角(jiǎo)膜(mó)疤(bā)痕去除(chú)等(děng)。

 

　　YAG激光器既可(kě)做平麵切割,也可做斜(xié)角(jiǎo)切割加工,且邊緣(yuán)整齊，平滑,適用(yòng)於(yú)金屬板，玻(bō)璃(lí)等高精(jīng)度的切割加(jiā)工。比起普通二(èr)氧(yǎng)化碳(tàn)激光(guāng)切割機(jī)更節省空間和氣體消耗(hào)量，光電轉(zhuǎn)化(huà)率(shuài)高(gāo)，是節能環(huán)保的新產品，也(yě)是世(shì)界上技術產(chǎn)品之(zhī)一。

 

　　YAG激(jī)光(guāng)器內(nèi)部裝(zhuāng)有(yǒu)氪燈和(hé)YAG晶體(tǐ)棒，分別套(tào)入通水管，通(tōng)水(shuǐ)後(hòu)以(yǐ)水(shuǐ)冷方(fāng)式進行(háng)冷卻。腔體(tǐ)反(fǎn)射(shè)鍍金處理。由於(yú)輸入激光(guāng)功率(shuài)需(xū)要高(gāo)聚(jù)效(xiào)率和鍍(dù)金膜層高(gāo)反(fǎn)射率(shuài)，所以在(zài)特殊(shū)情(qíng)況(kuàng)下需(xū)要(yào)定期(qī)對石英(yīng)玻璃管和金(jīn)屬腔體進行(háng)專業(yè)性的潔淨(jìng)處理(lǐ)，以(yǐ)清(qīng)除(chú)古典濾(lǜ)光(guāng)管內外(wài)的水汙(wū)垢和鍍(dù)金(jīn)膜層的雜質(zhì)或(huò)水(shuǐ)份。

 

　　YAG激光(guāng)器是利(lì)用(yòng)受激(jī)輻(fú)射原(yuán)理使光(guāng)在某(mǒu)些受激(jī)發的(dí)物(wù)質(zhì)中放(fàng)大或振蕩發(fā)射(shè)的器件。產生激光的*的(dí)條件是(shì)粒子數反轉和增益大(dà)過(guò)損耗，所以裝(zhuāng)置(zhì)中*的(dí)組(zǔ)成部(bù)分有激(jī)勵源，具有(yǒu)亞穩態(tài)能(néng)級(jí)的工(gōng)作(zuò)介質兩個部(bù)分。激(jī)勵(lì)是工作介質(zhì)吸收外(wài)來能(néng)量(liáng)後激(jī)發到(dào)激(jī)發(fā)態，為實(shí)現(xiàn)並(bìng)維(wéi)持(chí)粒(lì)子數反(fǎn)轉創(chuàng)造條件。YAG激光器(qì)中常(cháng)見的組(zǔ)成部(bù)分還有諧振(zhèn)腔，但(dàn)諧(xié)振(zhèn)腔並(bìng)非*的組成部分(fēn)，諧振腔(qiāng)可使(shǐ)腔內(nèi)的光子有一(yī)致的頻率(shuài)，相位和運行方向(xiàng)，從(cóng)而(ér)使激光(guāng)具(jù)有良(liáng)好的方向(xiàng)性(xìng)和相(xiāng)幹(gān)性。

 

　　光纖激光切(qiē)割機(jī)具有(yǒu)高的電(diàn)光轉換(huàn)效率(shuài)，其電光轉(zhuǎn)換效(xiào)率(shuài)達(dá)25％，比傳統(tǒng)激光(guāng)切(qiē)割機(jī)的(dí)電(diàn)光轉(zhuǎn)換效率高出數倍，而綜合運行費用卻僅為(wéi)傳統激(jī)光(guāng)切割機的15％。同時，光纖激光(guāng)切(qiē)割機(jī)體(tǐ)積較(jiào)小，其(qí)激(jī)光發生(shēng)器(qì)的占(zhān)地麵積(jī)不(bù)到1平方(fāng)米，整體占地麵(miàn)積約50平(píng)方米，為(wéi)傳(chuán)統激光切(qiē)割機的三分(fēn)之二。所(suǒ)以，在(zài)激光(guāng)器的選擇(zé)上(shàng)，要(yào)考(kǎo)慮到各種(zhǒng)參(cān)數(shù)，以(yǐ)及(jí)自(zì)身的實(shí)際(jì)需要(yào)，隻(zhī)有這樣，才能(néng)讓激(jī)光(guāng)器發(fā)揮出(chū)它(tā)的(dí)zui大效(xiào)能(néng)。

 

　　相(xiāng)對於YAG激光器的優(yōu)點(diǎn)：

 

　　1，光纖(xiān)的(dí)可(kě)繞性所帶(dài)來的(dí)小型(xíng)化(huà)，集約(yuē)化優(yōu)勢。

 

　　2，細長的光(guāng)纖具有降(jiàng)低的體積麵(miàn)積比(bǐ)，散熱(rè)快(kuài)，損(sǔn)耗(hào)低(dī)。

 

　　3，由於光(guāng)纖(xiān)激(jī)光器(qì)的諧振腔內無光學鏡片，具有(yǒu)免調(tiáo)節，免維(wéi)護，高(gāo)穩定性的(dí)優點，這(zhè)是傳統(tǒng)YAG激光器*的(dí)。

 

　　4，光(guāng)纖(xiān)導出，使得(dé)激(jī)光(guāng)器能輕易勝任各種多維任意(yì)空(kōng)間加工(gōng)應用(yòng)，使(shǐ)機(jī)械係(xì)統(tǒng)的設計(jì)變(biàn)得非常(cháng)簡(jiǎn)單(dān)。

 

　　5，勝任(rèn)惡劣的(dí)工作(zuò)環境(jìng)，對灰塵(chén)，震蕩(dàng)，衝擊(jī)，濕(shī)度，溫度具有(yǒu)很高的容忍度。

 

　　6，高的(dí)電(diàn)光效率：綜合(hé)電光(guāng)效(xiào)率高達(dá)20%以(yǐ)上，大幅(fú)度節約(yuē)工(gōng)作(zuò)時的耗電，節(jié)約(yuē)運行成(chéng)本(běn)。