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技術(shù)文章
更(gēng)新時間:2026-07-07
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先鋒(fēng)泰坦(tǎn)代(dài)理(lǐ)的德國(guó)ATL公司248nm KrF準(zhǔn)分子激光器ATLEX-500-L-248nm(8mJ@248nm,500Hz) 國內現(xiàn)貨(huò),無(wú)需海外排(pái)單排產(chǎn),標(biāo)準訂(dìng)單整體貨期(qī)僅(jǐn)2周,快速(sù)交付!助(zhù)力高校科(kē)研,微加(jiā)工,薄膜剝(bāo)蝕,光刻實驗等(děng)項目高(gāo)效落(là)地(dì)。
另(lìng):ATLEX-1000-L-193nm(4mJ@193nm,1000Hz)準分子激(jī)光器(qì)同步(bù)有(yǒu)售(shòu)。
ATLEX-L準分(fēn)子激(jī)光器性能指標(biāo):
準(zhǔn)分子氣體 | ArF | KrF | 單(dān)位 |
波長 | 193 | 248 | nm |
高(gāo)壓開關(guān)技術 | 固態開關(guān) | ||
最(zuì)大(dà)脈(mài)衝(chōng)能(néng)量(liáng) | 8 | 15 | mJ |
穩態脈(mài)衝能量(liáng) | 4 | 8 | mJ |
穩(wěn)態平均(jūn)功率 - ATLEX-500-L | 2 | 4 | W |
穩態平均(jūn)功(gōng)率 - ATLEX-1000-L | 4 | 8 | W |
最高(gāo)重(zhòng)復頻率 - ATLEX-500-L | 500 | Hz | |
最高(gāo)重復頻(pín)率 - ATLEX-1000-L | 1000 | Hz | |
脈衝(chōng)寬度(dù) | 5 - 8 | ns | |
光(guāng)斑(bān)尺(chǐ)寸 (V x H) | 6 x 4 | mm | |
激光(guāng)發(fā)散角 (V x H) | 2 x 1 | mrad | |
能量穩定(dìng)性 (Stand. Dev.) | < 3 | % | |
激光(guāng)器(qì)尺(chǐ)寸 (L x W x H) | 600 x 415 x 572 | mm | |
激光器(qì)重量寸 | 80 | kg | |
冷卻(què)形(xíng)式 | 風(fēng)冷(lěng)/水冷 | ||
電源需求 | 230 VAC / 10 A / 50-60 Hz / 單(dān)向(xiàng)電 | ||
先鋒泰坦作為德(dé)國(guó)ATL公司(sī)中(zhōng)國授權代(dài)理(lǐ)商,依托國內(nèi)倉(cāng)儲布局(jú),實現 ATLEX 係(xì)列激光(guāng)器本(běn)地(dì)化(huà)現(xiàn)貨供應,省(shěng)去(qù)海外漫長(cháng)排單周(zhōu)期,提(tí)供(gōng)原廠技術標準落地(dì),整(zhěng)機(jī)交付,安裝調(tiáo)試,售後維保全鏈條本土化技術服(fú)務(wù),助力國內(nèi)高校與科研單位高效開展光(guāng)刻,微加(jiā)工(gōng),激(jī)光(guāng)剝蝕等(děng)前(qián)沿課題研究。
先(xiān)鋒泰坦(tǎn)深(shēn)耕(gēng)光電前(qián)沿(yán)領域(yù)多年,先(xiān)後與數百家(jiā)國(guó)際光(guāng)電企業(yè)建(jiàn)立長期(qī)穩定的(dí)戰略合作關係(xì)。公(gōng)司搭(dā)建(jiàn)起(qǐ)完備(bèi)的全(quán)品類光電產品(pǐn)體(tǐ)係(xì),業(yè)務覆蓋各類激(jī)光(guāng)器(qì),激光(guāng)測量設備(bèi),科(kē)學(xué)成像(xiàng)探(tàn)測儀器(qì),光(guāng)譜儀(yí),光(guāng)度與(yǔ)色度(dù)測(cè)試(shì)儀,光電(diàn)傳感器等(děng)多(duō)個核心領域(yù)。依(yī)托豐富(fù)多(duō)元(yuán)的產品布(bù)局(jú)與專(zhuān)業可靠的本(běn)地(dì)化(huà)服務,持(chí)續(xù)為(wéi)國內(nèi)光(guāng)電科研及產業發展賦(fù)能(néng)。如需(xū)產(chǎn)品相(xiāng)關(guān)咨詢(xún),歡(huān)迎隨(suí)時(shí)聯係在(zài)綫客服。
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