在(zài)半導(dǎo)體，光學(xué)薄膜(mó)，精密塗(tú)層等領(lǐng)域(yù)
，精準，穩定，高效(xiào)的膜厚與光學常數檢(jiǎn)測(cè)
，是(shì)保障產品品質(zhì)與工藝穩(wěn)定(dìng)的關鍵(jiàn)環(huán)節。日本大塚電(diàn)子(zǐ) OPTM 半導體膜厚(hòu)測(cè)試儀
，憑借(jiè)成熟的(dí)分(fēn)光(guāng)幹(gān)涉技術與(yǔ)實(shí)用化設計(jì)
，成(chéng)為行(háng)業高(gāo)精(jīng)度(dù)檢(jiǎn)測的可(kě)靠選擇。

一(yī)，OPTM 半導(dǎo)體膜(mó)厚(hòu)測試儀(yí)工(gōng)作原理

OPTM 半導體(tǐ)膜厚(hòu)測試儀(yí)采用分光幹涉法
，通過(guò)顯(xiǎn)微分光係(xì)統精準測量(liáng)樣品的(dí)絕(jué)對反射(shè)率
，結(jié)合光學(xué)算(suàn)法解析
，快速(sù)得到多(duō)層(céng)膜厚(hòu)度(dù)，折射率 n，消光(guāng)係數(shù) k 等關(guān)鍵(jiàn)參(cān)數(shù)
，全(quán)程(chéng)非(fēi)接觸，無(wú)損傷(shāng)
，可穩(wěn)定完成微(wēi)小區域(yù)的(dí)高(gāo)精(jīng)度檢測。

構成(chéng)圖

二(èr)，核心(xīn)應用行業

·       半(bàn)導體(tǐ)製造(zào)：晶圓(yuán)薄膜，光(guāng)刻(kè)膠，介(jiè)質層厚(hòu)度檢測

·       光學(xué)器(qì)件：光學塗層，濾(lǜ)光片(piàn)，鏡(jìng)頭(tóu)膜(mó)層(céng)質量管控(kòng)

·       顯示麵(miàn)板(bǎn)：OLED，LCD 相關功能膜(mó)層測量(liáng)

·       精(jīng)密材(cái)料：光伏(fú)薄膜，功能(néng)塗(tú)層(céng)，納米(mǐ)薄膜研發與(yǔ)質檢

·       科研(yán)機構：材料(liào)實驗室，高校院(yuàn)所薄膜(mó)特性分析(xī)

三，產品優勢(shì)與核(hé)心特(tè)點

1.       高精(jīng)度顯(xiǎn)微(wēi)分(fēn)光(guāng)測(cè)量依(yī)托(tuō)顯微光學係統
，可精(jīng)準(zhǔn)解析(xī)多(duō)層膜(mó)結構(gòu)與(yǔ)光學常數
，實測數(shù)據穩定(dìng)可(kě)靠。

2.       高速(sù)檢測(cè)效率單點(diǎn)測量耗(hào)時不到 1 秒
，適(shì)配產綫抽檢與實(shí)驗室批量測試
，提(tí)升(shēng)檢測(cè)效(xiào)率(shuài)。

3.       寬波(bō)長(cháng)覆蓋(gài)OP-A1/A2/A3 三(sān)款(kuǎn)型號
，波長(cháng)覆蓋 230–1600nm
，兼顧紫(zǐ)外至近(jìn)紅(hóng)外不(bù)同材(cái)料需求(qiú)。

半導體(tǐ)膜厚(hòu)測試(shì)儀OPTM 式(shì)樣Specifications

4.       寬(kuān)量程與微小光(guāng)斑(bān)膜(mó)厚測量範圍 SiO₂換(huàn)算約 1nm–92μm
，標(biāo)配光(guāng)斑(bān)約 5μm
，優化(huà)後可達(dá) 3μm
，適配(pèi)微(wēi)小區域(yù)檢測(cè)。

5.       易用與安全設計區域傳(chuán)感器(qì)保(bǎo)障(zhàng)操作(zuò)安全(quán)；軟(ruǎn)件(jiàn)界麵(miàn)友好(hǎo)
，無經驗(yàn)人(rén)員也可完(wán)成(chéng)光學常數解析。

6.       高度定(dìng)製(zhì)能力(lì)支(zhī)持自定(dìng)義(yì)測(cè)量序列
，可提(tí)供固(gù)定(dìng)平(píng)台(tái)，嵌(qiàn)入式(shì)測試頭(tóu)等(děng)定(dìng)製(zhì)方案
，適(shì)配多樣(yàng)場(cháng)景(jǐng)。

7.       結構(gòu)緊湊可(kě)靠(kào)核心功能(néng)集成(chéng)於(yú)測試頭部(bù)
，搭(dā)配自(zì)動 XY 平(píng)台(tái)
，占(zhān)地合理，運(yùn)行穩(wěn)定
，適(shì)合(hé)長(cháng)期在綫與實驗室使用。

四(sì)，選擇先(xiān)鋒泰(tài)坦
，選購(gòu)更(gēng)安(ān)心

先(xiān)鋒(fēng)泰坦作(zuò)為 OPTM 半導(dǎo)體膜厚(hòu)測(cè)試(shì)儀的(dí)正規(guī)渠道(dào)提供(gōng)商
，為(wéi)用(yòng)戶提供(gōng)原廠正品(pǐn)，專業選(xuǎn)型，技(jì)術(shù)支(zhī)持與(yǔ)*服(fú)務(wù)。無(wú)論是半導體產綫質量管控，光(guāng)學薄(báo)膜研(yán)發
，還是實驗室精密(mì)檢(jiǎn)測
，OPTM 半(bàn)導體膜厚測試儀都能(néng)以穩(wěn)定性(xìng)能與(yǔ)實(shí)用功能(néng)
，滿足高精度測量需求。