一，環境因(yīn)素(sù)

 

　　環境(jìng)條件是影響波(bō)長計測(cè)量精度的(dí)基礎(chǔ)性因(yīn)素。溫(wēn)度變(biàn)化(huà)會導(dǎo)致光學元件熱脹冷縮(suō)，引起(qǐ)光(guāng)程(chéng)差改變，進而(ér)影響幹(gān)涉條紋的(dí)穩定性。研(yán)究(jiū)表(biǎo)明，溫(wēn)度每變(biàn)化1℃，可(kě)能(néng)引起波長(cháng)測量產生(shēng)數十pm的偏差。此外(wài)，環境振動會(huì)幹(gān)擾幹涉(shè)儀的(dí)光路穩(wěn)定(dìng)性，造成測量重(zhòng)復性(xìng)下降。空氣(qì)流(liú)動(dòng)帶來的(dí)折(zhē)射率變(biàn)化同樣不(bù)容忽(hū)視，特(tè)別是(shì)在高(gāo)精(jīng)度測量(liáng)場(cháng)景下(xià)，細微的氣流擾(rǎo)動(dòng)都可能(néng)引(yǐn)入顯(xiǎn)著誤差(chà)。

 

　　二，光(guāng)學(xué)係(xì)統特性(xìng)

 

　　光(guāng)學係統的(dí)設計與狀(zhuàng)態直(zhí)接(jiē)影響(xiǎng)測量精度。首先，入(rù)射光斑(bān)的質量至關重(zhòng)要(yào)，包括光斑尺(chǐ)寸，位置(zhì)穩定性(xìng)及模(mó)式(shì)匹配(pèi)程(chéng)度(dù)。若(ruò)光斑與幹涉(shè)儀(yí)不匹配(pèi)，將(jiāng)導致幹涉(shè)條紋(wén)對(duì)比(bǐ)度(dù)下降(jiàng)，增(zēng)加(jiā)相(xiāng)位(wèi)解(jiě)算誤(wù)差(chà)。其次，光學元(yuán)件的(dí)表(biǎo)麵質量，鍍膜特(tè)性(xìng)及(jí)裝配精(jīng)度(dù)均會影(yǐng)響波前質量，進而降低測量精(jīng)度。特(tè)別(bié)需要注意的是，脈(mài)衝(chōng)激光的(dí)高(gāo)峰值功(gōng)率可能(néng)引起光學元件的非(fēi)綫(xiàn)性(xìng)效應(yīng)，導(dǎo)致波(bō)長(cháng)漂(piāo)移。

 

　　三，探(tàn)測器與電(diàn)子(zǐ)學係統(tǒng)

 

　　探測器作為(wéi)信(xìn)號(hào)轉(zhuǎn)換(huàn)的(dí)核(hé)心部件(jiàn)，其(qí)性(xìng)能直(zhí)接(jiē)影響測量精(jīng)度(dù)。探測(cè)器(qì)的響(xiǎng)應(yīng)速度需與脈衝激光(guāng)的脈(mài)寬相(xiāng)匹(pǐ)配(pèi)，響應不足會導(dǎo)致信(xìn)號(hào)畸(jī)變。此外(wài)，探(tàn)測器的(dí)綫性(xìng)度，暗電流(liú)噪(zào)聲(shēng)及讀(dú)出(chū)噪聲都(dū)會引(yǐn)入(rù)測(cè)量(liáng)誤差。電子學(xué)係統(tǒng)的(dí)采(cǎi)樣精度，模數轉換位(wèi)數及信號處理算法同樣(yàng)關鍵。對(duì)於脈衝激(jī)光而言，觸(chù)發(fā)時序的準(zhǔn)確(què)性尤為重要(yào)，不當(dāng)的時(shí)序(xù)設置(zhì)可(kě)能導(dǎo)致(zhì)采樣窗(chuāng)口偏移(yí)，錯失(shī)有效信(xìn)號。

 

　　四(sì)，算法與數據(jù)處理

 

　　波(bō)長計的數據處(chǔ)理算法(fǎ)是(shì)決(jué)定最終(zhōng)精(jīng)度的(dí)另一關(guān)鍵(jiàn)因素(sù)。幹涉條(tiáo)紋的(dí)峰(fēng)值(zhí)定(dìng)位算(suàn)法，相位提(tí)取方法(fǎ)及(jí)波(bō)長反(fǎn)演(yǎn)模型的(dí)選擇均會影響測(cè)量(liáng)結果(guǒ)。對(duì)於脈衝激(jī)光，由於單(dān)個脈衝內信號(hào)強度(dù)可(kě)能(néng)波(bō)動(dòng)，需(xū)要(yào)采用(yòng)適當的(dí)加(jiā)權平(píng)均或擬合(hé)算法(fǎ)以提(tí)高(gāo)穩定性。同(tóng)時(shí)，係統標定(dìng)誤(wù)差(chà)，參(cān)考光源(yuán)的(dí)精度及(jí)校準頻(pín)率也直接(jiē)影(yǐng)響測(cè)量準確性(xìng)。

 

　　五，激光源(yuán)特(tè)性(xìng)

 

　　脈衝(chōng)激(jī)光(guāng)源(yuán)本(běn)身(shēn)的特性同樣(yàng)影響測量精度。脈衝(chōng)能量(liáng)穩定(dìng)性(xìng)，光譜(pǔ)綫寬(kuān)，脈衝重復(fù)頻(pín)率的(dí)抖動以及偏(piān)振(zhèn)狀(zhuàng)態的變(biàn)化(huà)，都(dū)會(huì)在波長測量(liáng)中體(tǐ)現。特別對於超短脈衝激光(guāng)，其(qí)寬(kuān)光譜特性可能(néng)引(yǐn)入色散(sàn)效應，增加測(cè)量復雜性(xìng)。