激光(guāng)功率計的測(cè)量精度由(yóu)儀器本(běn)身,激光(guāng)特性(xìng),使用環(huán)境,操作方(fāng)式(shì)共同(tóng)決定,是科(kē)研(yán),工業(yè)激光標定(dìng)中需重點(diǎn)控製的(dí)指標,主要(yào)影響因素如(rú)下:
一,儀器(qì)自(zì)身特性(xìng)因素
- 探(tàn)頭(tóu)類(lèi)型(xíng)與固有(yǒu)精度
熱電堆型(xíng)功(gōng)率(shuài)計綫性度(dù),長期(qī)穩定性較好,但響應(yīng)慢(màn);光電二極管型(xíng)靈(líng)敏度(dù)高,但易(yì)飽(bǎo)和,綫(xiàn)性(xìng)範(fàn)圍窄(zhǎi)。不同探頭的出廠(chǎng)標(biāo)定(dìng)精度(dù),溫漂(piāo)係(xì)數直接決(jué)定(dìng)基礎(chǔ)測(cè)量(liáng)誤差。 - 波長校(xiào)準偏(piān)差
探頭(tóu)吸收塗(tú)層,光電(diàn)二(èr)極管的響應度隨波長變(biàn)化,若測量(liáng)波長(cháng)與(yǔ)標定(dìng)波(bō)長(cháng)不(bù)一(yī)致,會(huì)產生(shēng)波長(cháng)響(xiǎng)應(yīng)誤差,是常見(jiàn)精度(dù)誤差來(lái)源。 - 衰(shuāi)減器(qì)與(yǔ)光學元件(jiàn)損耗
探(tàn)頭(tóu)內置衰(shuāi)減片,濾光片的老化,汙染或安(ān)裝(zhuāng)偏(piān)移,會改(gǎi)變實(shí)際(jì)入射(shè)能量,造成(chéng)測(cè)量值(zhí)偏低。 - 電路(lù)係(xì)統誤差
放大(dà)電路(lù)噪聲(shēng),AD 轉(zhuǎn)換精(jīng)度(dù),零(líng)點漂移,溫度(dù)補償(cháng)算(suàn)法(fǎ)不(bù)*,會導(dǎo)致(zhì)微弱(ruò)信號測量失真(zhēn)。
二(èr),激光(guāng)輸出(chū)特(tè)性因素
- 功率超出(chū)量程範圍(wéi)
低功率探頭(tóu)測量高(gāo)功(gōng)率(shuài)激光易造(zào)成(chéng)飽(bǎo)和失(shī)真(zhēn)甚(shèn)至損(sǔn)壞(huài);高(gāo)功率(shuài)探(tàn)頭測(cè)量微(wēi)瓦(wǎ)級(jí)激光則信(xìn)噪(zào)比不(bù)足。 - 激光(guāng)模(mó)式與(yǔ)光(guāng)斑(bān)分布
非(fēi)均匀光(guāng)斑(bān),高階模式,光斑偏離探頭(tóu)中心(xīn),會因(yīn)探頭區域(yù)響應不均引入(rù)誤(wù)差;脈衝激光的占空比,重復(fù)頻率與探頭響(xiǎng)應(yīng)速(sù)度(dù)不(bù)匹(pǐ)配,會造(zào)成(chéng)峰值(zhí) / 平均功率測(cè)量(liáng)偏(piān)差。 - 光束(shù)入射(shè)角度
斜(xié)入(rù)射會(huì)改變有效吸(xī)收麵積與反(fǎn)射率,偏(piān)離垂直入射時(shí)誤差顯(xiǎn)著增(zēng)大(dà)。
三(sān),環境(jìng)條(tiáo)件(jiàn)因(yīn)素(sù)
- 環(huán)境(jìng)溫度(dù)變化(huà)
溫度波(bō)動會(huì)引發(fā)熱(rè)電堆零(líng)點漂移(yí),半(bàn)導體(tǐ)器件電學(xué)參數(shù)改變(biàn),大功率測量時(shí)散熱不良會加劇(jù)誤差。 - 環(huán)境光與電(diàn)磁(cí)幹擾(rǎo)
雜散光入(rù)射探頭(tóu)形成(chéng)背(bèi)景(jǐng)信(xìn)號,電磁(cí)場幹(gān)擾會造(zào)成(chéng)電路噪(zào)聲,降(jiàng)低測量準確度。 - 氣流(liú)與振(zhèn)動(dòng)
風(fēng)冷,空氣對(duì)流(liú)會帶走探(tàn)頭(tóu)熱量,影(yǐng)響熱電(diàn)堆測(cè)量;機械振動(dòng)導(dǎo)致(zhì)光斑抖動,降低測(cè)量重(zhòng)復性。
四(sì),操作(zuò)與使(shǐ)用方(fāng)式因素
- 預熱(rè)不(bù)充分
儀器(qì)及探(tàn)頭未(wèi)達(dá)到熱穩定(dìng)狀(zhuàng)態就測量,零點未校(xiào)準導致(zhì)初(chū)始誤(wù)差(chà)。 - 探(tàn)頭(tóu)表麵汙染
灰塵(chén),油(yóu)汙,燒蝕(shí)殘渣降低(dī)吸(xī)收(shōu)率,使(shǐ)測(cè)量值偏(piān)小。 - 零(líng)點(diǎn)校準缺失
長期(qī)使(shǐ)用(yòng)後電路漂移,未(wèi)定期歸零校(xiào)準(zhǔn)會累積(jī)係統誤差(chà)。
五,使用建(jiàn)議(yì)
控(kòng)製(zhì)精度需(xū)做(zuò)到(dào):選用匹配波(bō)長與功率量程的(dí)探頭(tóu),垂(chuí)直(zhí)入(rù)射(shè),保證(zhèng)預(yù)熱(rè)與校零(líng),控(kòng)製(zhì)環境(jìng)溫(wēn)濕度(dù)與雜散光,定期返廠標(biāo)定(dìng)。