Moxtek專為240nm到(dào)400nm紫外(wài)波段(duàn)應用設計紫外(wài)偏振(zhèn)片，采用特*的納(nà)米綫柵技術，性能(néng)優(yōu)異，具有大入(rù)射角，寬(kuān)波(bō)長範(fàn)圍，耐(nài)熱性(xìng)高，高透過率，高(gāo)消(xiāo)光(guāng)比等(děng)特點。

產品(pǐn)型(xíng)號(hào)和(hé)規(guī)格

技術(shù)數據(jù)：透過率(shuài)以(yǐ)及(jí)消光比

紫外偏(piān)振(zhèn)片主要應(yīng)用(yòng)

1.半導體設(shè)備應用：

DUV步進器和(hé)DUV掃描儀是(shì)半導(dǎo)體(tǐ)生(shēng)產過程中的(dí)核心和(hé)關鍵(jiàn)單(dān)元。使用波(bō)長為248 nm和(hé)193 nm的單(dān)色紫外綫輻射，將結(jié)構從(cóng)光(guāng)掩模(mó)板(bǎn)轉(zhuǎn)移(yí)到襯底上(shàng)。在(zài)光刻材料(liào)的曝光(guāng)中增(zēng)加(jiā)偏振光(guāng)可將分(fēn)辨(biàn)率提(tí)高20%。

紫外偏振片(piàn)也廣(guǎng)泛(fàn)用(yòng)在無圖(tú)形(xíng)晶圓(yuán)光(guāng)學(xué)檢(jiǎn)測設(shè)備(bèi)上，實現(xiàn)高精(jīng)度(dù)的缺陷檢(jiǎn)測(cè)。

2.紫(zǐ)外綫(xiàn)固(gù)化

偏振紫外綫(xiàn)用於固(gù)化(huà)高(gāo)*印刷行業中(zhōng)使用(yòng)的紫外(wài)綫(xiàn)敏(mǐn)感(gǎn)油墨，使用偏(piān)振(zhèn)光可以實(shí)現更快(kuài)的(dí)生(shēng)產速度和(hé)更大的產(chǎn)能(néng)，從而提高機器和(hé)工廠(chǎng)的(dí)利用率。

3.光對準Photo Alignment

使(shǐ)用(yòng)240至(zhì)300nm範圍(wéi)內的(dí)綫(xiàn)性偏(piān)振紫(zǐ)外(wài)綫，可以實現LC顯示(shì)器行(háng)業的(dí)精確(què)對(duì)準，以(yǐ)生成(chéng)各向異(yì)性(xìng)對準膜(mó)。傳(chuán)統(tǒng)的摩(mó)擦(cā)聚酰亞胺(àn)會(huì)產生灰塵(chén)，靜電和機(jī)械(xiè)損傷。在不用大麵積(jī)變動的情況下，UV偏振光(guāng)允許(xǔ)極快(kuài)生(shēng)成(chéng)均匀(yún)和(hé)穩定的偏(piān)置(zhì)傾(qīng)斜角。

4.光譜(pǔ)儀

Moxtek UVD260和UVD240偏(piān)振(zhèn)片可用於光(guāng)譜(pǔ)儀(yí)，與Glan-Taylor棱鏡(jìng)相比，其(qí)小(xiǎo)尺寸，寬接受角，均(jūn)匀性和寬波(bō)長(cháng)帶(dài)寬特(tè)點具備(bèi)明顯的(dí)優勢，另外(wài)相(xiāng)比(bǐ)傳(chuán)統(tǒng)的(dí)Glan-Taylor棱(léng)鏡，UVD係(xì)列偏振片(piàn)還具有(yǒu)更高(gāo)的對(duì)比(bǐ)度(dù)和透過率(shuài)，同時支(zhī)持更大的(dí)AOI，需(xū)要更(gēng)少的(dí)空間(jiān)，沒(méi)有(yǒu)光學(xué)像(xiàng)差，厚(hòu)度僅為(wéi)2mm左(zuǒ)右。