棱(léng)鏡耦(ǒu)合(hé)測試儀(yí)利(lì)用波導(dǎo)耦(ǒu)合(hé)原理，測(cè)量(liáng)薄膜(mó)或(huò)體材料(liào)的折(zhē)射(shè)率(shuài)，薄膜(mó)厚(hòu)度，熱光(guāng)係數(shù)以(yǐ)及(jí)波導損耗(hào)等(děng)。對電介質(zhì)及聚(jù)合(hé)物膜的(dí)膜(mó)厚和(hé)折射(shè)率 / 雙折射(shè)進(jìn)行快速(sù)及準確的測(cè)量(liáng)。
 

　　測(cè)試原理：
 

　　是(shì)待(dài)測(cè)樣(yàng)品(pǐn)通過一(yī)個空氣(qì)作(zuò)用的耦合探頭(tóu)與棱(léng)鏡(jìng)基(jī)座接觸,在薄(báo)膜與(yǔ)棱鏡之(zhī)間產生(shēng)一個(gè)空(kōng)氣狹縫。根(gēn)據(jù)查詢相(xiāng)關資(zī)料(liào)顯示：棱(léng)鏡耦合(hé)測試(shì)儀采(cǎi)用棱鏡耦(ǒu)合(hé)方法測(cè)試樣品折射率，可(kě)測試波(bō)長633nm，935nm，1549nm處的折(zhē)射率(shuài)值，通(tōng)過(guò)軟(ruǎn)件做(zuò)曲綫(xiàn)耦(ǒu)合(hé)科(kē)求出(chū)任(rèn)何(hé)波段的模擬值。
 

　　主要特點：
 

　　1，中 / 厚(hòu)膜(mó)膜(mó)厚及折(zhē)射(shè)率 ( 尤其(qí)是(shì)光(guāng)波導 )測(cè)量的(dí)選擇。
 

　　2，不需要(yào)預(yù)先知(zhī)道膜的厚度(dù)。
 

　　3，*的氣壓耦合(hé)方式(shì) , 不需(xū)要加耦合液。
 

　　性(xìng)能(néng)優勢：
 

　　1，極大(dà)地提高了用(yòng)戶友(yǒu)好(hǎo)的(dí)控(kòng)製程(chéng)序(xù) 和新(xīn)測(cè)量的功(gōng)能(néng)，允許測(cè)量(liáng)從常見到(dào)特殊(shū)的薄膜而(ér)不需(xū)依靠(kào)內(nèi)部係數(shù)或(huò)菜單式校(xiào)準曲綫(xiàn)。
 

　　2，不必(bì)預(yù)先知曉(xiǎo)厚度及(jí)折(zhē)射(shè)率；
 

　　3，±0.0005 常規折(zhē)射(shè)率分辨率 - 尤其在(zài)大批(pī)量生(shēng)產時比其他技(jì)術更(gēng)具(jù)優勢(shì)(可(kě)獲(huò)得更高(gāo)折射率(shuài))；
 

　　4，通(tōng)用化 - 沒有固(gù)定的(dí)薄膜 / 基底合(hé)並菜單(dān)；
 

　　5，可測量(liáng)雙(shuāng)膜(mó)結構(gòu)中的(dí)單膜(mó)厚度(dù)及折射率(shuài)；
 

　　6，可進行體材料(liào)或(huò)基底材(cái)料的(dí)高(gāo)折射(shè)率(shuài)測量；
 

　　7，快(kuài)速測(cè)量薄膜或(huò)漫反射光(guāng)波導參數(20s)。