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技術文章
更新(xīn)時間:2020-09-01
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伴(bàn)隨紫(zǐ)外激光和超(chāo)快激(jī)光普遍(biàn)用(yòng)於(yú)半導(dǎo)體,麵(miàn)板和生(shēng)物醫學(xué)行(háng)業等(děng)行(háng)業,激光(guāng)精細微加工和(hé)顯微分析(xī)測試已成(chéng)為(wéi)常(cháng)用工具(jù)。由於加工區(qū)域(yù)需要控製(zhì)在(zài)幾(jī)μm級(jí)別精度(dù),隻是測量(liáng)激(jī)光(guāng)功(gōng)率或(huò)能量(liáng)的強(qiáng)度和穩(wěn)定性(xìng)已(yǐ)經不能滿足常規(guī)的加工質量管控(kòng)要求,激光(guāng)加(jiā)工(gōng),尤其是(shì)紫外(wài)/超快(kuài)微加工(gōng)中,由(yóu)於激光(guāng)器(qì)輸出特(tè)性(xìng),光(guāng)路的(dí)微小(xiǎo)變化,導致(zhì)焦(jiāo)斑(bān)的尺寸,位(wèi)置(zhì)變(biàn)化(huà),影響加工(gōng)效果(guǒ)和(hé)一致(zhì)性(xìng),因此在激光(guāng)加(jiā)工方麵(miàn),我們需要(yào)對(duì)激(jī)光“看(kàn)到”更(gēng)多(duō)的細(xì)節,比如光斑大小,峰值(zhí)中心位置,幾(jī)何中(zhōng)心位置,橢(tuǒ)圓(yuán)度(dù),2D/3D 光(guāng)斑(bān)形(xíng)貌(mào)等參數。
此(cǐ)前,測(cè)量激(jī)光的精細參(cān)數,需要光(guāng)學(xué)工程(chéng)師在(zài)現場搭(dā)建焦(jiāo)斑測量的(dí)光路,造成大(dà)量(liáng)的(dí)停機時間,影(yǐng)響(xiǎng)生產(chǎn)效率(shuài);先(xiān)鋒(fēng)科(kē)技(jì)密切關(guān)心客(kè)戶(hù)的需求,基(jī)於長時間服(fú)務(wù)於激(jī)光(guāng)光束品(pǐn)質的經驗,開發出(chū)整體(tǐ)式焦斑(bān)測(cè)量儀(yí)。該儀器(qì)體積小(xiǎo),光路靈(líng)活(huó),分辨(biàn)率高(gāo),測量結果準(zhǔn)確(què),隻(zhī)需(xū)要簡(jiǎn)單(dān)的擺(bǎi)放(fàng)對(duì)準調節(jié)即可(kě)秒出結(jié)果(guǒ),既(jì)可以圖形(xíng)化直(zhí)觀(guān)顯示焦(jiāo)斑是否正常,也(yě)可以獲(huò)取(qǔ)強度分布(bù)數據(jù),一經推(tuī)出即引起(qǐ)強(qiáng)烈(liè)的市(shì)場(cháng)反(fǎn)響,並於近(jìn)期(qī)獲(huò)得激光行(háng)業-榮格(gé)技術(shù)創新獎。

該精密激光(guāng)焦(jiāo)點(diǎn)分(fēn)析儀(yí)測(cè)量(liáng)精度可(kě)達1um以下(xià), 簡化,加(jiā)速了(liǎo)對激光微加工(gōng)係(xì)統焦點光斑(bān)進(jìn)行(háng)測(cè)量(liáng)分析的過程(chéng),增(zēng)強(qiáng)測試結果(guǒ)的可靠性,提(tí)升產(chǎn)綫生產效(xiào)率(shuài)並確保(bǎo)生產(chǎn)製程的穩定性(xìng),是(shì)紫外/超(chāo)快激光(guāng)微(wēi)加(jiā)工應用(yòng)中的得力(lì)工具(jù),可廣泛用於激(jī)光精細(xì)切割(gē)和焊接,超(chāo)快激光聚(jù)焦(jiāo)分析,麵(miàn)板和(hé)半導體加工,生(shēng)物醫(yī)學(xué)顯(xiǎn)微(wēi)測(cè)試(shì)方(fāng)向(xiàng)。

主(zhǔ)要特點:
A.一維(wéi)\二維(wéi)\三維(wéi)形(xíng)象顯示(shì)激光(guāng)的光(guāng)強分(fēn)布(bù)輪(lún)廓,明確生(shēng)動(dòng)看出激(jī)光(guāng)光(guāng)束(shù)質(zhì)量(liáng)的好(hǎo)壞(huài);
B.可(kě)測焦(jiāo)點光斑(bān)直(zhí)徑,峰(fēng)值中(zhōng)心(xīn),中心點(diǎn)能量密度強(qiáng)弱和(hé)位置,光(guāng)斑(bān)橢(tuǒ)圓度,高斯匹(pǐ)配(pèi)度(dù)等(děng);
C.實時(shí)觀測(cè)光斑(bān)峰(fēng)值中(zhōng)心位置的變(biàn)化(huà),測量激(jī)光(guāng)點穩(wěn)定性,了解光(guāng)斑(bān)的變(biàn)化情(qíng)況(kuàng);
D.噪聲(shēng)逐點(diǎn)扣(kòu)除功能,保證(zhèng)了(liǎo)測量激光的各(gè)參數(shù)的準確(què)性;
E. 可配合不(bù)同類(lèi)型大功(gōng)率(shuài)近(jìn)場(cháng)成(chéng)像鏡(jìng)頭(tóu),小可以測(cè)量(liáng)光斑大(dà)小:1um;
F. 一體(tǐ)化(huà)緊湊設計,方便集成(chéng)於係(xì)統(tǒng),支持二(èr)次(cì)開發;
G. 確定激(jī)光加工焦點位置(zhì),提(tí)升(shēng)激光(guāng)加(jiā)工性能(néng);
先(xiān)鋒(fēng)科(kē)技是專業從(cóng)事光電相(xiāng)關(guān)領(lǐng)域(yù)內與科(kē)研(yán),生產等環節(jié)密(mì)切相(xiāng)關的儀器係統(tǒng)集成(chéng)業務的(dí)綜合服務商,業務範圍涵(hán)蓋各著名高等院校(xiào)和(hé)大(dà)型生(shēng)產(chǎn)型企業。目前(qián)技(jì)術(shù)深(shēn)度(dù)融合(hé),我(wǒ)們(mén)將(jiāng)發(fā)揮(huī)自身技(jì)術(shù)優(yōu)勢(shì),基(jī)於已有(yǒu)的(dí)光譜技術(shù),精密(mì)位移(yí)技(jì)術,光(guāng)檢測技(jì)術,與(yǔ)高等(děng)院校研究單(dān)位(wèi)密切合作,逐步*已有的光譜(pǔ)類(lèi),激(jī)光(guāng)檢測類產(chǎn)品(pǐn),開創研發創新(xīn)新篇(piān)章
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